GB/T 25915.9-2018 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級
GB/T 25915的本部分闡明了在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中，按粒子濃度來劃分固體表面潔凈度等級。附錄A~附錄D中給出了關(guān)于表面特性的信息以及推薦的檢測和測量方法。

本部分適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中的所有固體表面，如墻壁、頂棚、地板、生產(chǎn)環(huán)境、工具、設(shè)備和產(chǎn)品。按粒子濃度劃分的表面潔凈度等級（SCP）限于粒徑0.05um~500um的粒子。

本部分對以下事項(xiàng)未予考慮：

一特定工藝的潔凈度及適合性要求；一表面的清潔步驟；一材料特性；一涉及相互結(jié)合力或通常與時(shí)間和工藝過程有關(guān)的事項(xiàng)；一分級和測試統(tǒng)計(jì)方法的選擇和使用；

——粒子的其他特性，如靜電電荷、離子電荷、微生物等狀況。