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下載中心首頁(yè) » 食品資料 » 質(zhì)量管理 » 標(biāo)法相關(guān) » 碳化硅外延層載流子濃度測(cè)定非接觸電容-電壓法（征求意見(jiàn)稿）
      

      



       
      

      

      

       
      



       
      



       
      

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碳化硅外延層載流子濃度測(cè)定非接觸電容-電壓法（征求意見(jiàn)稿）

      

      
  
      
    
        
        
        
        
    
        
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征求意見(jiàn)稿 

      
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征求意見(jiàn)稿 

      
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征求意見(jiàn)稿 
       
      

      

      資料介紹
      

      
碳化硅外延層載流子濃度測(cè)定非接觸電容-電壓法（征求意見(jiàn)稿）
      

      本文件規(guī)定了非接觸電容-電壓法測(cè)試碳化硅外延層載流子濃度的方法。
      

      本文件適用于4H 碳化硅外延層載流子濃度的測(cè)試，測(cè)試范圍為1×1014 cm-3 ～1×1018cm-3 。
      

    
      
    
    
      
    
      
        
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