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碳化硅柵氧界面態(tài)的測定—非接觸式電容電壓法（征求意見稿）

      

      
  
      
    
        
        
        
        
    
        
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      資料介紹
      

      
碳化硅柵氧界面態(tài)的測定—非接觸式電容電壓法（征求意見稿）
      

      本文件規(guī)定了非接觸電容電壓法測試碳化硅柵氧界面態(tài)的方法。
      

      本文件適用于碳化硅柵氧界面態(tài)密度的測試，測試范圍為1×1010 cm-2.eV-1 ～1×10 13cm-2.eV-1 。
      

    
      
    
    
      
    
      
        
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