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下載中心首頁 » 食品標準 » 國內標準 » 國家標準 » GB/T 17874-1999 電子工業用氣體 三氯化硼

      

      

      



      


      



      

      



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GB/T 17874-1999 電子工業用氣體 三氯化硼
         
                              
        

      

      
  
      
    
        
        
        
        
    
    
        


    
        
  
      

      

      
  
      
    標準類別
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    頒發部門
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    廢止日期
    暫無
  
      

      

      
    
      標準介紹
      

      
    
      GB/T 17874-1999 電子工業用氣體 三氯化硼
      
    
    
        
    
    
    
      GB/T 17874-1999 電子工業用氣體 三氯化硼
      

      
本標準規定了電子工業用三抓化硼氣體的要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。
      
本標準適用于以粗制三抓化硼為原料，采用吸附、蒸餾的方法提純制得的三抓化硼，主要用于電子工業硅半導體器件和集成電路生產所用的擴散、離子注人、干法蝕刻等工藝。
      

      
被GB/T 17874-2010代替。
      

    
    
      

      


      

      


      


      
                    
      
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