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標(biāo)準(zhǔn)介紹

GB/T 17874-1999 電子工業(yè)用氣體三氯化硼

GB/T 17874-1999 電子工業(yè)用氣體三氯化硼

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用三抓化硼氣體的要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存和安全要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以粗制三抓化硼為原料，采用吸附、蒸餾的方法提純制得的三抓化硼，主要用于電子工業(yè)硅半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所用的擴(kuò)散、離子注人、干法蝕刻等工藝。

被GB/T 17874-2010代替。

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標(biāo)準(zhǔn)翻譯（漢語(yǔ)與英語(yǔ)、日語(yǔ)、韓語(yǔ)互譯）：詳詢(xún)0535-2129195
標(biāo)準(zhǔn)英文版：http://www.trans1.cn/translation/show.php?itemid=7284

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食品百科：包裝工業(yè) 標(biāo)志檢驗(yàn)規(guī)則運(yùn)輸

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