作為污染控制計(jì)劃的一部分,本文件對(duì)潔凈室易損表面上粒子沉積速率(PDR)測(cè)量結(jié)果的解釋和應(yīng)用提供了指導(dǎo)。提供了PDR的影響因素和降低易損表面上粒子污染風(fēng)險(xiǎn)的說(shuō)明。
本文件提供了潔凈室測(cè)量PDR來(lái)確定易損表面上大粒子的可接受濃度限值和風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估方法,能確定粒子沉積到易損表面的可接受風(fēng)險(xiǎn)。當(dāng)風(fēng)險(xiǎn)不可接受時(shí),則需要采取潔凈控制措施來(lái)降低PDR。
粒子遮蔽速率(POR)是一種替代PDR的方法,其定義為粒子在表面上隨時(shí)間增加的覆蓋率。POR的使用方式與PDR類似,也用于計(jì)算指定表面所需的POR,以降低沉積粒子的風(fēng)險(xiǎn)。
本文件：
-不提供根據(jù)PDR或POR對(duì)潔凈室的分級(jí)方法；
-不直接考慮沉積的攜帶微生物粒子的活性；
-不考慮通過(guò)接觸產(chǎn)生的表面沉積,例如人員觸摸產(chǎn)品導(dǎo)致的污染。
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